CIF等離子去膠機(jī)

所屬分類：等離子去膠機(jī)

表面改性

等離子清洗機(jī) 紫外臭氧清洗機(jī)

表面去膠

等離子去膠機(jī)

表面刻蝕

等離子刻蝕機(jī)

表面涂層

烤膠機(jī) 勻膠機(jī) 濺射鍍膜機(jī)

產(chǎn)品參數(shù)

特別適合于大學(xué)，科研院所和微電子、半導(dǎo)體企業(yè) 實驗室，對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基樹脂、MEMS制造過程中犧牲層，干刻或濕刻處理前或后，對基材進(jìn)行聚合物剝離、金屬剝離、掩膜材料等光刻膠去除，以及晶圓表面預(yù)處理等。

產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點

◆ 7 寸彩色觸摸屏互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆ PLC 工控機(jī)控制整個去膠過程，手動、自動兩種工作模式。

◆ 石英真空艙，全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。

◆ 可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應(yīng)用。

◆ 采用花灑式多孔道進(jìn)氣方式，改變單孔進(jìn)氣不均勻問題。

◆ 采用防腐數(shù)字流量計，實現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體。

◆ HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆ 處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。

◆ 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

◆ 安全保護(hù)，艙門打開，自動關(guān)閉電源，機(jī)器運行、停止提示。

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