CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)
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CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源 設(shè)計(jì)，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于 SEM 或 FIB 等腔 體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?
更新時(shí)間：2024-03-19 09:53:02
產(chǎn)品特點(diǎn)
◆ ?遠(yuǎn)程離子清洗源
◆??清洗快速、高效
◆ ?低轟擊損傷
技術(shù)參數(shù)
?
產(chǎn)品型號(hào) | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40（CF40） |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz 射頻電源，射頻功率 5-150W 可調(diào) |
遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器 | |
氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。0-500sccm，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7 寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面 |
電源 / 功率 | AC220V，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮?dú)狻錃獍l(fā)生器， ??氫氣純度﹥ 99.999％，輸出流量 0-500SCCM |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護(hù) |
產(chǎn)品尺寸 | L320xW385xH465mm |
| L440xW535xH725mm |
整機(jī)重量 | 25 |
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